Calibru di spessore è densità areale integratu CDM

Applicazioni

Prucessu di rivestimentu: rilevazione in linea di piccule caratteristiche di l'elettrodu; piccule caratteristiche cumuni di l'elettrodu: mancanza di energia (nisuna perdita di cullettore di corrente, piccula differenza di grisgiu cù l'area di rivestimentu nurmale, fallimentu di l'identificazione CCD), graffi, contornu di spessore di l'area di diradamentu, rilevazione di spessore AT9 ecc.

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Principii di misurazione

Principii di misurazione di a densità superficiale

Metudu d'assorbimentu di raggi X/β

Principii di misurazione di spessore

Correlazione è triangulazione laser

Caratteristiche di e prove tecniche CDM

Scenariu 1: Ci hè una vacanza/mancanza di 2 mm di larghezza nantu à a superficia di l'elettrodu è un bordu hè più grossu (linea blu cum'è mostratu quì sottu). Quandu u puntu di u raghju hè di 40 mm, l'impattu di a forma originale di i dati misurati (linea aranciu cum'è mostratu quì sottu) pare ovviamente più chjucu.

Scenariu 2: dati di prufilu di l'area di diradamentu dinamicu larghezza di dati 0,1 mm

Funzioni di u software

Parametri tecnichi

Nome	Indici
Velocità di scansione	0-18 m/min
Frequenza di campionamentu	Densità superficiale: 200 kHz; spessore: 50 kHz
Gamma di misurazione di a densità superficiale	Densità superficiale: 10~1000 g/m²; spessore: 0~3000 μm;
Ripetizione di misurazione precisione	Densità superficiale: Integrale di 16s: ±2σ: ≤±valore veru * 0,2‰ o ±0,06g/m²; ±3σ:≤±valore veru * 0,25‰ o +0,08g/m²; Integrale 4s: ±2σ: ≤±valore veru * 0,4‰ o ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±valore veru * 0,6‰ o ±0,18g/m²;Spessore: Zona di 10 mm: ±3σ: ≤±0,3 μm; Zona di 1 mm: ±3σ: ≤±0,5 μm; Zona di 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Correlazione R2	Densità superficiale > 99%; spessore > 98%;
Puntu laser	25*1400μm
Classe di prutezzione da e radiazioni	GB 18871-2002 standard di sicurezza naziunale (esenzione da radiazioni)
A vita di serviziu di a radioattività fonte	Raggi β: 10,7 anni (meza vita Kr85); Raggi X: > 5 anni
Tempu di risposta di misurazione	Densità superficiale < 1ms; spessore < 0,1ms;
Putenza tutale	<3kW